申請日: 2013.07.24
國家/省市: 日本(JP)
公開號: 104703759A
公開日: 2015.06.10
主分類號: B24B 57/00(2006.01)
分類號: B24B 57/00(2006.01); C02F 11/14(2006.01)
申請人: 柯尼卡美能達株式會社
發明人: 永井佑樹; 前澤明弘; 乾智惠
代理人: 張濤
代理機構: 11105
申請人地址: 日本東京都
優先權: JP2012-164821
摘要: 本發明從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中得到高純度的再生研磨材料。研磨材料是選自氧化鈰、金剛石、氮化硼、碳化硅、氧化鋁、氧化鋁-氧化鋯以及氧化鋯中的至少一種,且經由下述工序A~D從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中再生研磨材料,即,回收包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料的漿料回收工序A,該使用過的研磨材料是對主成分為硅的被研磨物3進行研磨得到的;調整回收得到的研磨材料漿料的pH使得pH為7~10的pH調整工序B;向調整過pH的研磨材料漿料中添加作為無機鹽的含堿土金屬元素的金屬鹽,使研磨材料凝聚,從母液分離研磨材料并進行濃縮的分離濃縮工序C;將分離濃縮了的研磨材料固液分離并回收的研磨材料回收工序D。
主權利要求 1.一種研磨材料再生方法,其從包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料中再生研磨材料,該使用過的研磨材料是對主成分為硅的被研磨物進行研磨而得到的,該研磨材料是選自下述研磨材料組中的至少一種,并且,該方法經由下述工序A~D再生研磨材料,工序A:回收包含使用過的研磨材料的研磨材料漿料的漿料回收工序A;工序B:調整該回收得到的研磨材料漿料的pH使得其換算成25℃下的pH為7~10的pH調整工序B;工序C:向該調整過pH的研磨材料漿料中添加作為無機鹽的含堿土金屬元素的金屬鹽,使研磨材料凝聚,從母液中分離出該研磨材料并進行濃縮的分離濃縮工序C;工序D:對該分離并濃縮后的研磨材料進行固液分離并進行回收的研磨材料回收工序D,研磨材料組:氧化鈰、金剛石、氮化硼、碳化硅、氧化鋁、氧化鋁-氧化鋯、氧化鋯。
