1.引言

　　光電系統(tǒng)中幾乎都裝備有各種各樣的光電傳感 器件，而在這些光電傳感器件中，或多或少都采用了 各種樣式的光學(xué)零件。 

　　從 20 世紀(jì)80 年代開始，現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)發(fā)展迅 速。光學(xué)系統(tǒng)不但要求成像質(zhì)量好，而且要求體積小、 質(zhì)量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。這對(duì)光學(xué)加工行業(yè)是一個(gè)嚴(yán)峻的考驗(yàn)。為了跟上時(shí)代發(fā)展的步伐，設(shè)計(jì)和制作出質(zhì)地 優(yōu)良的光學(xué)成像系統(tǒng)，光學(xué)零件加工行業(yè)于20世紀(jì)90年代開展了大規(guī)模技術(shù)革命和創(chuàng)新活動(dòng)，研究開發(fā) 出許多新的光學(xué)零件加工方法，如非球面、自由曲面等元件的加工。10多年來(lái)，新的光學(xué)零件加工技術(shù)得 到進(jìn)一步的推廣和普及。

　　2.單點(diǎn)金剛石車削技術(shù) 

　　單點(diǎn)金剛石車削技術(shù)是在超精密數(shù)控車床上采 用天然單晶金剛石刀具，在對(duì)機(jī)床和加工環(huán)境進(jìn)行精 確控制的條件下，直接利用金剛石刀具單點(diǎn)車削加工 出符合光學(xué)質(zhì)量要求的非球面光學(xué)零件，其加工設(shè)備 如圖1所示，工 藝流程如圖2所示。該技術(shù)主要用于加工中等尺寸、中等批量的紅外晶體和金屬材料的光 學(xué)零件，其特點(diǎn)是生產(chǎn)效率高、加工精度高、重復(fù)性 好、適合批量生產(chǎn)，加工成本比傳統(tǒng)的加工技術(shù)明顯 降低。采用該項(xiàng)金剛石車削技術(shù)加工出來(lái)的直徑 120mm 以下的光學(xué)零件, 面形精度達(dá)λ/5(λ為光波 長(zhǎng))，表面粗糙度的均方根值為0.02μm。

圖1.單點(diǎn)金剛石車床

圖2.單點(diǎn)金剛石車床非球面車削工藝流程圖

　　目前，采用金剛石車削技術(shù)可以加工的材料有： 有色金屬、鍺、塑料、部分紅外光學(xué)晶體和激光晶體 （例如碲鎘汞、銻化鎘、硫化鋅、硒化鋅、氟化鈣、鈮酸 鋰、 KDP 晶體）、鍺基硫族化合物玻璃等。這些材料均可直接達(dá)到光學(xué)表面質(zhì)量要求。 

　　計(jì)算機(jī)數(shù)控單點(diǎn)金剛石車削技術(shù)除了可以直接 加工球面、非球面光學(xué)零件外，還可以加工各種光學(xué) 零件的成型模具和光學(xué)零件基體。該技術(shù)與離子束拋 光技術(shù)相結(jié)合，可以加工高精度非球面光學(xué)零件；與 鍍硬碳膜工藝和環(huán)氧樹脂復(fù)制技術(shù)相結(jié)合，可生產(chǎn)較 為便宜的精密非球面反射鏡和透鏡。 

　　金剛石車削機(jī)床是金剛石車削工藝的關(guān)鍵。金剛 石車削機(jī)床屬于高精密機(jī)床，機(jī)床的主軸精度和導(dǎo)軌 運(yùn)動(dòng)精度比一般的機(jī)床要高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)，主軸軸承 和導(dǎo)軌通常采用空氣軸承和油壓靜力支承結(jié)構(gòu)，機(jī)床 運(yùn)動(dòng)部件的相對(duì)位置采用激光位移測(cè)量裝置測(cè)定。在 工件加工的整個(gè)過(guò)程中，采用激光干涉儀測(cè)量工件的 面形誤差。車床上裝有反饋裝置，可以補(bǔ)償運(yùn)動(dòng)誤差。 金剛石車床的主要生產(chǎn)廠家是美國(guó)的莫爾公司、英國(guó) 的泰勒赫普森公司等。莫爾公司生產(chǎn)銷售的主要產(chǎn)品 是Moore M-200， M-400 金剛石車床；泰勒赫普森公司生產(chǎn)出售的產(chǎn)品主要有Nanoform  300型、 350型、 Ultra 300型等金剛石車床。 

　　2.1.加工制造技術(shù) 

　　2.1.1.紅外光學(xué)非球面制造 

　　我國(guó)通過(guò)近年來(lái)金剛石車削技術(shù)的不斷研究與 發(fā)展，其中包括對(duì)多種紅外光學(xué)材料特性、工 藝 參 數(shù) 、 工 藝 過(guò) 程 的 研究，實(shí)現(xiàn)了鍺、硫化鋅、硒化鋅、氟化鋰、 氟化鋇、氟化鈣非球面批量生產(chǎn)，面形精度小于 0.2μm,粗糙度小于0.02μm，其中鍺、硫化鋅、硒化鋅 非球面加工技術(shù)形成了發(fā)明專利。

　　2.1.2.光學(xué)塑料壓型模具、模芯制造技術(shù) 

　　隨著數(shù)碼相機(jī)鏡頭、 DVD 讀頭等民用光電器件的 發(fā)展，需要應(yīng)用大量的光學(xué)非球面鏡頭。通過(guò)采取光 學(xué)樹脂復(fù)制，才能滿足批量民用光電儀器的需求。為 了適應(yīng)市場(chǎng)的發(fā)展，云南北方光電在1999 年應(yīng)用金 剛石鏡面車床制造非球面金屬模具、模芯技術(shù)，在 許 多 廠家的PMMA 光學(xué)塑料壓型模具、模芯上得到了 大量應(yīng)用。 

　　2.1.3.小離軸量非球面加工技術(shù) 

　　離軸非球面透鏡是一種光學(xué)軸和機(jī)械軸不重合 的光學(xué)透鏡，主要特點(diǎn)是整個(gè)零件對(duì)于幾何機(jī)械軸非 回轉(zhuǎn)對(duì)稱，對(duì)于加工和檢測(cè)都是技術(shù)難題，在加工制 造方面突破了非回轉(zhuǎn)對(duì)稱拋光，在 檢測(cè)方面突破了非 回轉(zhuǎn)對(duì)稱檢驗(yàn)、離軸量和偏心角度的檢測(cè)技術(shù)，解決 了離軸非球面光學(xué)元件加工的技術(shù)難題。 

　　2.1.4.復(fù)曲面加工 

　　應(yīng)用金剛石車床批量車削出的非球面銅、鋁反射鏡會(huì)大量運(yùn)用在觀瞄、顯示、激光耦合等光電系統(tǒng)上， 復(fù)曲面加工原件如圖3所示。其金屬反射鏡面形精度 達(dá)到小于0.2μm，粗糙度小于0.03μm,彌散圓小于 0.5μm，同時(shí)還有較好的熱差消除性能。復(fù)曲面加工 的難點(diǎn)是正交的x軸和y軸上有不同的面形，用傳統(tǒng) 的方法難以解決。通過(guò)采用金剛石車床加工，檢測(cè)采 用精密分度回轉(zhuǎn)工作臺(tái)檢測(cè)不同方向上的面形精度。

圖3.復(fù)曲面加工元件

　　4 光學(xué)塑料成型技術(shù)

　　光學(xué)塑料成型技術(shù)是當(dāng)前制造塑料非球面光學(xué)零件的先進(jìn)技術(shù)，包括注射成型、鑄造成型和壓制成型等技術(shù)。光學(xué)塑料注射成型技術(shù)主要用來(lái)大量生產(chǎn)直徑100mm以下的非球面光學(xué)零件，也可制造微型透鏡陣列。而鑄造和壓制成型主要用于制造直徑為100mm以上的非球面透鏡光學(xué)零件。

　　塑料非球面光學(xué)零件具有重量輕、成本低;光學(xué)零件和安裝部件可以注塑成為一個(gè)整體，節(jié)省裝配工作量;耐沖擊性能好等優(yōu)點(diǎn)。因此，在軍事、攝影、醫(yī)學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域有著非常好的應(yīng)用前景。美國(guó)在AN/AVS-6型飛行員微光夜視眼鏡中就采用了9塊非球面塑料透鏡。此外，在AN/PVS-7步兵微光夜視眼鏡、HOT夜視眼鏡、"銅斑蛇"激光制導(dǎo)炮彈導(dǎo)引頭和其他光電制導(dǎo)導(dǎo)引頭、激光測(cè)距機(jī)、軍用望遠(yuǎn)鏡以及各種照相機(jī)的取景器中也都采用了非球面塑料透鏡。美國(guó)TBE公司在制造某種末制導(dǎo)自動(dòng)導(dǎo)引頭用非球面光學(xué)零件時(shí)，曾對(duì)幾種光學(xué)塑料透鏡成型法作過(guò)經(jīng)濟(jì)分析對(duì)比，認(rèn)為采用注射成型法制造非球面光學(xué)塑料透鏡最為合算。

　　4.1.注射成型法

　　注射成型是將加熱成流體的定量的光學(xué)塑料注入到不銹鋼模具中，在加熱加壓條件下成型，冷卻固化后打開模具，便可獲得所需要的光學(xué)塑料零件。光學(xué)塑料注射成型的關(guān)鍵環(huán)節(jié)是模具，由于光學(xué)塑料模壓成型的工作溫度較低，所以對(duì)模具的要求要比對(duì)玻璃模壓成型模具的要求低一些。非球面模具的超精密加工相當(dāng)困難，通常的加工都是首先在數(shù)控機(jī)床上將模具的坯件磨削成近似非球面，然后用范成精磨法逐步提高非球面的面形精度和表面粗糙度，最后用拋光法加工成所要求的面形精度和表面粗糙度。可是，由于數(shù)控機(jī)床的加工精度比較低，在模具加工過(guò)程中需要對(duì)模具進(jìn)行反復(fù)檢測(cè)和修改，逐步地提高模具精度，從而使模具的成本變得很高。因而現(xiàn)在的模具，是用剛性好、分辨率高的計(jì)算機(jī)數(shù)控超精密非球面加工機(jī)床和非球面均勻拋光機(jī)超精密加工而成的。首先用計(jì)算機(jī)數(shù)控超精密非球面機(jī)床將模坯加工出面形精度達(dá)±0.1μμm的非球面，然后用拋光機(jī)在保持非球面面形精度不變的條件下均勻地輕拋光，大約拋去0.01μm，使模具表面的粗糙度得到提高。

　　注射成型的光學(xué)塑料零件的焦距精度可以控制到0.5～1%，面形精度高于λ/4，長(zhǎng)度公差達(dá)0.0076mm，厚度公差達(dá)0.012mm。

　　介紹一種日本人發(fā)明的高精度塑料光學(xué)零件注射成型法--澆口密封成型法。

　　澆口密封成型法，是一種向加熱至樹脂轉(zhuǎn)化溫度(Tg)以上的金屬模中注射熔融的樹脂(注射量應(yīng)是：冷卻結(jié)束打開模具時(shí)樹脂的壓力剛好是大氣的壓力的量)，迅速密封澆口，等溫度、壓力均勻后，在相對(duì)容積一定、溫度-壓力均勻條件下，徐徐冷卻至樹脂的熱變形溫度以下后，打開模具取出壓形品的成型方法。

　　首先，以大約130MP2的高壓，將高溫的熔融樹脂注射到模具中，在高溫(T1)下將澆口密封。密封在模具中的樹脂，其壓力在均勻化的過(guò)程中降至30MPa左右(此時(shí)的溫度為：比樹脂轉(zhuǎn)化溫度Tg高一些的某一溫度T2)。從注射開始經(jīng)過(guò)一定時(shí)間后，就可由壓型機(jī)的合模裝置上將模具單體取下。單體模具經(jīng)過(guò)緩緩冷卻后才可開模，取出壓型成品。

　　澆口密封成型法的關(guān)鍵問(wèn)題在于，注射到模具中的300℃左右高溫的熔融樹脂，如何以130MPa的壓力將澆口密封死。其做法是：在成型注射之前，先將一個(gè)小球放入金屬模具的澆口部，當(dāng)向模具中注射熔融樹脂時(shí)，小球受到樹脂的擠壓就會(huì)從澆口處向靠近模穴一側(cè)移動(dòng)。這時(shí)，在澆口部通往模穴的地方就會(huì)出現(xiàn)間隙，熔融樹脂從此間隙能夠流入到模穴中。而當(dāng)注射成型機(jī)停止向模具內(nèi)高壓注射樹脂時(shí)，由于壓差的原因，瞬間發(fā)生樹脂逆流現(xiàn)象，小球則被這種逆流的樹脂又從靠近模穴的一側(cè)推向模具的澆口處。此時(shí)，小球依靠高壓的樹脂所發(fā)生的擠壓力將模具澆口堵死，完成澆口密封工作。

　　該澆口密封成型法由于是樹脂注射后用小球進(jìn)行澆口密封的，因而不需要保壓和壓縮機(jī)構(gòu)及其工作。所以注射了樹脂后的金屬模具很容易從成型機(jī)上取下來(lái)，以金屬模具單體脫離成型機(jī)身的形式進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的冷卻。這不但大大提高了成型機(jī)的工作效率，同時(shí)也提高了單位時(shí)間的生產(chǎn)效率。這種成型法可將一部分功能分配到機(jī)外的裝置中去完成，改變了過(guò)去那種功能只能在成型機(jī)裝置內(nèi)進(jìn)行的做法。

　　澆口密封成型工序分4步工序進(jìn)行。

　　(1)加熱工序。由金屬模具的外部進(jìn)行傳導(dǎo)加熱。從成型品的取出溫度加熱到Tg(樹脂的轉(zhuǎn)化溫度-即模具加溫需要達(dá)到的溫度)以上的一定溫度為止，用很短的時(shí)間進(jìn)行升溫，使熱度做到均勻化。

　　(2)成型工序。向模具內(nèi)注射熔融的樹脂，使小球?qū)⒛＞邼部诿芊夂螅瑸槭箿囟取毫ψ龅骄鶆蚧瑢?duì)金屬模進(jìn)行保溫。

　　(3)緩冷工序。利用自行保持合模力的機(jī)構(gòu)，一邊維持合模狀態(tài)，一邊從壓型機(jī)上取下壓型模。取下的單體壓型模具，采用自然空氣冷卻或是強(qiáng)制空氣冷卻的方式，以每分鐘1～2℃的速度逐漸降溫。

　　(4)取出工序。從壓型模中取出成形品。由于壓型模具已從壓型機(jī)上取下，這時(shí)只要取下自行保持合模力的機(jī)構(gòu)，就能打開型模取出成形品。在成形品取出過(guò)程中，由于樹脂的壓力相當(dāng)于大氣的壓力，所以不需要推出裝置，只要打開突出分型面的部分，成形品就能離模。

　　澆口密封成型法的關(guān)鍵要素，是金屬模具的溫度條件和注射充填條件(緩慢冷卻結(jié)束時(shí)樹脂壓力為大氣壓力的條件)。因此，既使是模壓成型形狀和體積不同的成型品，也不用改變注射時(shí)和冷卻結(jié)束時(shí)的金屬模具的溫度，只要有充裕的時(shí)間使溫度-壓力達(dá)到均勻化，并保持緩慢冷卻的速度，根據(jù)模穴的容積注射充填樹脂，就能進(jìn)行高精度地復(fù)制。

　　4.2.壓制成型法

　　所謂壓制成型法就是將光學(xué)塑料毛坯放入金屬模具中模壓成光學(xué)塑料零件的一種方法。下面介紹其中一種壓制成型方法--再熔融成型法。

　　再熔成型法，是將近似于成形品形狀的毛坯，插入具有復(fù)制面形、又使樹脂不能流出的金屬模具中，在模穴容積一定條件下，將模穴中的樹脂加熱至樹脂轉(zhuǎn)化溫度Tg以上，利用因樹脂的膨脹和軟化-熔融所發(fā)生的均勻的樹脂壓力，使樹脂緊密附著到模子的復(fù)制面上，等溫度-壓力均勻后，在相對(duì)容積一定、溫度-壓力均勻條件下，徐徐冷卻至樹脂的熱變形溫度以下，然后打開型模取出壓型成形品的一種光學(xué)塑料零件成形方法。

　　再熔成型法，通過(guò)利用不同的工序確保壓形品的形狀創(chuàng)成和面形精度，緩和了成形品內(nèi)的殘留應(yīng)力和密度分布，實(shí)現(xiàn)了成形品的精度優(yōu)良制作。再熔成型法工藝由下述2道工序組成。

　　(1)毛坯成形工序。使用普通的注射成形法，制作近似于最后成形品形狀的毛坯成形品。

　　毛坯成形工序，由于采用的是通常的注射成形法，在將熔融的樹脂向低于樹脂熱變形溫度的模具中注射充填過(guò)程中，表層部就會(huì)驟冷固化，毛坯會(huì)有收縮。若出現(xiàn)面形不能復(fù)制的話，則是殘留應(yīng)力比較大的緣故。

　　(2)面形復(fù)制工序。將毛坯插入具有復(fù)制面形、而又使樹脂不能流出外部的不同模具中，加熱-冷卻，進(jìn)行面形復(fù)制。

　　面形復(fù)制工序是將低精度的毛坯高精度化的一個(gè)工序。具有面形的模具，通過(guò)加熱至樹脂的Tg(樹脂轉(zhuǎn)化溫度)以上，殘留應(yīng)力可以得到緩和。進(jìn)而，由于加熱時(shí)樹脂的軟化-熱膨脹能使模穴內(nèi)發(fā)生均勻的樹脂壓力，所以，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的面形復(fù)制。

　　為了防止發(fā)生溫度分布和壓力分布，冷卻需要緩慢進(jìn)行，而且必需冷卻至樹脂熱變形溫度以下。這樣，開模取壓形品時(shí)，成形品才不會(huì)變形。另外，由于開模時(shí)的樹脂壓力必需大致相當(dāng)于大氣壓力，因此，模穴容積一定條件下的毛坯的重量誤差也是應(yīng)該引起重視的一個(gè)要點(diǎn)。

　　通過(guò)實(shí)施各自具有特征的毛坯工序和面形復(fù)制工序，可以構(gòu)成能生產(chǎn)性能優(yōu)良的塑料光學(xué)零件的制造系統(tǒng)。

　　再熔成形法的面形復(fù)制工序的設(shè)備，除了能夠開、合型模的沖壓機(jī)外，還有不需要有澆口和噴嘴之類的部分金屬模具，制作起來(lái)很便宜。因此，設(shè)備增設(shè)起來(lái)很容易。可以根據(jù)生產(chǎn)量的情況，適宜地進(jìn)行設(shè)備投資，建立起一個(gè)相對(duì)應(yīng)的柔性生產(chǎn)系統(tǒng)。

　　再熔成形法的特征是：由于再熔成形法的毛坯成形工程采用了普通的注射成形工藝，所以具有成形周期短、適合批量生產(chǎn)之優(yōu)點(diǎn)。但是，面形復(fù)制工程必需實(shí)施加熱、冷卻工程，因此又存在著與澆口密封成型法一樣周期長(zhǎng)的缺陷。然而，因?yàn)椴恍枰裢ǔＷ⑸涑尚喂に嚹菢拥淖⑸洹⒊涮罟ば颍砸簿筒挥每紤]樹脂流路的問(wèn)題。又因成形時(shí)產(chǎn)生的壓力小于30MPa(通常的注射成形為100MPa左右)，故并不要求模具有很高的剛性。模具因?yàn)轶w積小而可使用多個(gè)，因此，可以采用多個(gè)模具彌補(bǔ)生產(chǎn)效率低的不足。由于加熱、冷卻容易控制，成形周期縮短，所以生產(chǎn)效率可以提高。

　　另外，由于毛坯成型工序和面形復(fù)制工序能夠獨(dú)立操作，面形復(fù)制工序的沖壓機(jī)可以對(duì)每一個(gè)壓形品的成形條件進(jìn)行設(shè)計(jì)，所以可以進(jìn)行不同樹脂、不同形狀的成形品的混合生產(chǎn)。

　　利用該成型法制作的非球面反射鏡經(jīng)過(guò)形狀測(cè)量，結(jié)果是：在±100mm范圍內(nèi)，反射面的彎曲(起伏)度在4μm以下，成形品的精度很高。

　　5.計(jì)算機(jī)數(shù)控研磨和拋光技術(shù)

　　技算機(jī)數(shù)控研磨和拋光技術(shù)是一種由計(jì)算機(jī)控制的精密機(jī)床將工件表面磨削成所需要的面形，然后用柔性拋光模拋光，使工件在不改變精磨面形精度的條件下達(dá)到鏡面光潔度的光學(xué)零件制造技術(shù)。該技術(shù)主要用來(lái)加工中、大尺寸的非球面光學(xué)零件。加工零件時(shí)，磨削工具受計(jì)算機(jī)控制，在工件表面進(jìn)行磨削去除加工。磨削工具根據(jù)工件的不同加工余量，在工件表面停留不同的時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)非球面加工。工件加工精度主要取決于測(cè)量精度和所采用的誤差校正方法。

　　非球面光學(xué)零件的精密研磨拋光比較普遍采用的一種技術(shù)是：小型磨床修正研磨拋光法。

　　小型磨床研磨拋光法分為縱向掃描和光柵掃描兩種方式。縱向掃描方式是：被加工的工件以一定的速度旋轉(zhuǎn)，拋光器則沿著貫穿工件軸心的斷面進(jìn)行搖動(dòng)。縱向掃描方式對(duì)工件軸心附近的形狀控制和非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱部分的形狀誤差的修正研磨拋光比較困難，但是研磨時(shí)間可望縮短，設(shè)備比較簡(jiǎn)單。光柵掃描方式則是：被加工的工件不旋轉(zhuǎn)，拋光器在工件的表面移動(dòng)研磨拋光。這種方式不僅容易進(jìn)行非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱部分的修正研磨拋光，而且還可以進(jìn)行離軸光學(xué)零件的研磨拋光加工。但是，此種方式的設(shè)備組成較為復(fù)雜，成本比較高。

　　為了提高加工精度，小型磨床加工系統(tǒng)必需具備很高的精度和反復(fù)再現(xiàn)性、研磨去除量不隨時(shí)間變化而變化、高精度的模擬計(jì)算、和與實(shí)際研磨的一致性等條件。小型磨床研磨拋光加工的工藝流程大致如下：首先由三維測(cè)試機(jī)、激光干涉儀測(cè)出加工面的形狀精度，求出面形誤差。工作站根據(jù)面形誤差計(jì)算出需要研磨拋光的軌跡，并將該研磨拋光軌跡轉(zhuǎn)換成數(shù)控編碼傳送給磨床進(jìn)行加工。加工完了后進(jìn)行面形精度測(cè)試。面形精度若是沒(méi)有達(dá)到要求，再反復(fù)地進(jìn)行計(jì)算、加工。通過(guò)這樣反復(fù)地進(jìn)行面形測(cè)試、計(jì)算、修正研磨拋光，即可達(dá)到提高面形精度的目的。

　　小型磨床最早是由美國(guó)研究開發(fā)的，其磨頭直徑不超過(guò)工件的1/3，由計(jì)算機(jī)計(jì)算去除量，加工精度比較高。可以高精度地加工直徑1500～1800mm的大口徑非球面。目前，美國(guó)亞里桑那大學(xué)的光學(xué)中心，已基本上用計(jì)算機(jī)數(shù)控研磨拋光加工技術(shù)取代了傳統(tǒng)的手工研磨拋光加工非球面光學(xué)零件。另外美國(guó)羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制造中心也已獲得了300多萬(wàn)美元的國(guó)防基金和幾家大公司的資助，實(shí)現(xiàn)了非球面透鏡生產(chǎn)的自動(dòng)化。

　　80年代末，日本研制出了的超精密數(shù)控范成法研磨機(jī)，使用該研磨機(jī)加工出的光學(xué)零件，其面形精度達(dá)到了0.08μm，表面粗糙度的均方根值為0.2nm。若用瀝青拋光模進(jìn)行加工，表面粗糙度的均方根值能達(dá)到0.035nm。最近，日本采用門型機(jī)械加工中心，使用4000#～8000#鑄鐵絲結(jié)合金剛石砂輪，利用ELID(在線電解修正法)磨削法，磨削BK-7光學(xué)玻璃，所獲得的非球面的面形精度為1μm，表面粗糙度為43nmRmax。

　　德國(guó)的計(jì)算機(jī)數(shù)控研磨拋光技術(shù)很快。Loh公司生產(chǎn)的CNCSPM50和120研磨拋光機(jī)，不僅可以粗、精磨球面光學(xué)零件，而且還可以粗、精磨非球面光學(xué)零件。施耐德(SCHEIDER)光學(xué)機(jī)械公司90年代末制造的ALG100型計(jì)算機(jī)數(shù)控非球面磨床和ALP100型計(jì)算機(jī)數(shù)控非球面拋光機(jī)，可以高效率地進(jìn)行非球面光學(xué)零件的生產(chǎn)。

　　ALG100型計(jì)算機(jī)數(shù)控非球面磨床，可在對(duì)話框中直接輸入非球面加工參數(shù)，自動(dòng)計(jì)算非球面磨削加工量;采用先進(jìn)的導(dǎo)向裝置與旋轉(zhuǎn)加工技術(shù)，各軸與旋轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)使用了高性能數(shù)字AC伺服傳動(dòng)裝置;采用干涉測(cè)量系統(tǒng)加強(qiáng)加工過(guò)程中的工件的測(cè)量，能對(duì)工件的非球面加工進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整;非球面加工中心能夠直接進(jìn)行非球面或棱形的組合加工，具有綜合預(yù)加工的2、3維混合加工技術(shù)功能;旋轉(zhuǎn)軸采用高頻空氣軸承，可利用環(huán)形工具進(jìn)行高速的球面預(yù)加工，能夠獲得最佳透鏡半徑等特性。

　　ALG100非球面磨床的主要技術(shù)規(guī)格如下：加工工件尺寸：最大直徑為150mm，半徑為10mm的平面;軸數(shù)3軸(X，Z，B)X、Z;軸的推進(jìn)(進(jìn)刀)速度為0.01～5000mm/min;X、Z軸的位置往返精度為±0.001mm;B軸的推進(jìn)(進(jìn)刀)速度為0.01～4300°/min;B軸位置往返精度為±4";連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)軸(H×D)25×42mm;主軸轉(zhuǎn)速度為5000～15000轉(zhuǎn)/min;工件軸轉(zhuǎn)速為25～1500轉(zhuǎn)/min;磨床外形尺寸1150×1900×1220mm;質(zhì)量為1000kg。

　　ALP100型計(jì)算機(jī)數(shù)控非球面拋光機(jī)，可以在對(duì)話框中直接輸入非球面加工參數(shù);自動(dòng)計(jì)算非球面拋光加工量;使用特殊加工的非球面磨具拋光;拋光參數(shù)可進(jìn)行計(jì)算機(jī)數(shù)控、調(diào)節(jié)與觀察;可以優(yōu)化計(jì)算機(jī)數(shù)控的拋光軌跡，制作出高表面質(zhì)量的復(fù)雜的非球面幾何形狀;采用了先進(jìn)的導(dǎo)向與轉(zhuǎn)軸技術(shù)，可高速地進(jìn)行連續(xù)的軌跡拋光;各軸和旋轉(zhuǎn)軸都采用了高性能的數(shù)字式AC伺服傳動(dòng)裝置;可基于圖形模式進(jìn)行優(yōu)化拋光的調(diào)整等特性。

　　該拋光機(jī)的主要技術(shù)規(guī)格如下：可加工工件的尺寸：最大直徑為150mm，半徑為10mm的平面;軸數(shù)3軸(X，Z，B);X、Z軸的推進(jìn)(進(jìn)刀)速度為0.01～5000mm/min;X、Z軸位置往返精度為±0.001mm;B軸的推進(jìn)(進(jìn)刀)速度)0.01～430°/min;B軸的位置往返精度為±4";連接機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)軸25×42mm;主軸轉(zhuǎn)速度為50～2500轉(zhuǎn)/min;工件軸轉(zhuǎn)速為25～1500轉(zhuǎn)/min;拋光機(jī)外形尺寸1150×1900×1220mm;車床質(zhì)量1000kg。

　　6.光學(xué)零件加工的柔性自動(dòng)化技術(shù)

　　近10多年來(lái)，計(jì)算機(jī)數(shù)控技術(shù)發(fā)展很快，已迅速被大多數(shù)工業(yè)加工行業(yè)所采用。目前，計(jì)算機(jī)數(shù)控的加工方法，特別是計(jì)算機(jī)數(shù)控加工中心已經(jīng)被認(rèn)為是增大加工的靈活性、提高工件加工的速度和質(zhì)量的最基本的方法。在過(guò)去的年代里計(jì)算機(jī)數(shù)控技術(shù)在光學(xué)加工行業(yè)中的應(yīng)用比較少，這幾年已經(jīng)引起了行業(yè)專家們的重視。

　　自1990年起，為滿足軍用光學(xué)系統(tǒng)目前和未來(lái)的需求，美國(guó)"陸軍制造技術(shù)計(jì)劃"支持發(fā)展新的技術(shù)。美陸軍材料司令部投資700萬(wàn)美元在羅徹斯特大學(xué)建立起一個(gè)面積達(dá)1670m2的光學(xué)制造中心。該中心得到了美國(guó)精密光學(xué)制造協(xié)會(huì)和美國(guó)國(guó)防部的支持，其成員目前已有100來(lái)個(gè)。

　　建立光學(xué)制造中心的目的，是想通過(guò)引進(jìn)以定型加工為基礎(chǔ)的計(jì)算機(jī)數(shù)控加工機(jī)床，使勞動(dòng)力密集型的光學(xué)加工技術(shù)迅速實(shí)現(xiàn)柔性自動(dòng)化，從而改善美國(guó)在光學(xué)零件制造方面的能力，使美國(guó)工業(yè)的光學(xué)基礎(chǔ)恢復(fù)元?dú)狻９鈱W(xué)制造中心，通過(guò)和其成員之間的緊密聯(lián)系，加快了新技術(shù)的開發(fā)步伐，不久便開發(fā)出了稱之為光學(xué)自動(dòng)化和管理(Opticam)的新光學(xué)加工技術(shù)。這種Opticam技術(shù)，以定型加工為基礎(chǔ)，通過(guò)計(jì)算機(jī)數(shù)控機(jī)床和柔性工具，實(shí)現(xiàn)光學(xué)零件加工的柔性自動(dòng)化。

　　1992年光學(xué)制造中心研制出了第1臺(tái)型號(hào)為Opticam SM的加工系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了光學(xué)零件在計(jì)算機(jī)數(shù)控機(jī)床上加工的夢(mèng)想。該機(jī)床的工具軸為具有空氣軸承的高速旋轉(zhuǎn)軸，其線速達(dá)50m/s。工具為金屬結(jié)合劑的金剛石環(huán)形磨輪，其粒度分別為20～10μm、12～6μm、4～2μm。在零件加工過(guò)程中，計(jì)算機(jī)控制進(jìn)給，機(jī)械手更換夾具。該加工機(jī)床加工的光學(xué)零件其表面粗糙度(RMS)可達(dá)20nm以下，次表面的破壞層深度小于2μm。5分鐘內(nèi)面形精度可達(dá)1λ(PV值)。1993年該中心又推出了第2代設(shè)計(jì)產(chǎn)品Opticam SX加工系統(tǒng)。這是一種非常靈活的運(yùn)動(dòng)精度為亞微米級(jí)的5軸計(jì)算機(jī)數(shù)控精密加工中心。使用的工具為由燒結(jié)金剛石磨料制成的環(huán)形磨輪。磨輪的轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn)/min，工件軸的轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/min。機(jī)床的定位精度為1μm，轉(zhuǎn)角精度為1"。該系統(tǒng)能完成所有球面零件的粗磨、精磨、超精磨、定中心、磨邊、倒角等加工工序。能加工直徑為10～150mm的凹凸半球零件。加工出的光學(xué)零件的面形精度好于λ/3(P-V值)，表面粗糙度的均方根值為3～10nm。目前這種Opticam機(jī)床已被12家光學(xué)零件制造廠使用，已生產(chǎn)出了可供標(biāo)槍導(dǎo)彈、F-16飛機(jī)、目標(biāo)捕獲指示瞄準(zhǔn)具/駕駛員夜視傳感器和導(dǎo)彈尋的改進(jìn)計(jì)劃等用的光學(xué)元件。

　　Opticam技術(shù)的開發(fā)應(yīng)用，極大的提高了光學(xué)加工的適應(yīng)性和生產(chǎn)率，收益巨大。首先是，使光學(xué)零件加工擺脫了對(duì)熟練技術(shù)工人的依賴，工人不再需要進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)。只要利用給與的工件加工參數(shù)，任何計(jì)算機(jī)數(shù)控機(jī)床操作員均能生產(chǎn)出符合要求的光學(xué)零件，而且可以100%的提高產(chǎn)量。因此，它完全能夠應(yīng)付因戰(zhàn)爭(zhēng)動(dòng)員所造成的生產(chǎn)量驟增。其次是，不再為每種透鏡配備專用的工具與夾具，從而使光學(xué)零件的加工費(fèi)用得以降低。羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制造中心，曾利用初步得到的數(shù)據(jù)將這種新技術(shù)與傳統(tǒng)的光學(xué)加工方法作了比較，按保守估計(jì)得出的結(jié)論是，用新技術(shù)比用傳統(tǒng)的技術(shù)要平均節(jié)省20%的費(fèi)用。其三是，由于Opticam技術(shù)提供的柔性加工能力使在同一臺(tái)機(jī)床上可以生產(chǎn)不同的光學(xué)零件，且很快就能拿出樣品，所以可使光學(xué)元件加工的總周期縮短30～60%。

　　為了進(jìn)一步完善Opticam技術(shù)在光學(xué)加工領(lǐng)域的應(yīng)用，在"陸軍制作技術(shù)計(jì)劃"的支持下，羅徹斯特大學(xué)的光學(xué)制造中心正潛心作如下方面的工作：①針對(duì)Opticam SX加工系統(tǒng)加工出的玻璃透鏡仍需通過(guò)一次拋光工序的加工，才能去除次表面的損傷和使表面粗糙度的均方根值小于2μm，正在研究原蘇聯(lián)人Belarus發(fā)明的磁流體精加工技術(shù)。現(xiàn)已研制出利用磁流體拋光技術(shù)的Opticam磁流體拋光樣機(jī)和定型方法，下一步工作是研究確定磁流體拋光過(guò)程的特性和將其工作最佳化;②研制價(jià)格便宜的、加工直徑為2～50mm的透鏡用的Opticam micro SX機(jī)床，將Opticam技術(shù)擴(kuò)展到微型透鏡加工領(lǐng)域。③進(jìn)行金剛石磨料刀具最佳化和改進(jìn)冷卻劑的研究。打算利用日本人發(fā)明的加工中電解整修技術(shù)，通過(guò)計(jì)算機(jī)控制電解去除研磨工具的粘結(jié)材料，在研磨中不斷地進(jìn)行金剛石研磨工具的整修。④1996年，美國(guó)國(guó)防高級(jí)研究計(jì)劃局啟動(dòng)新的600萬(wàn)美元的技術(shù)再投資計(jì)劃，預(yù)將Opticam技術(shù)擴(kuò)展到玻璃和易碎材料的非球面透鏡的制造領(lǐng)域。光學(xué)制造中心正在進(jìn)行這項(xiàng)工作的研究，打算通過(guò)將定型微研磨技術(shù)與磁流體拋光技術(shù)相結(jié)合的做法來(lái)實(shí)現(xiàn)這一計(jì)劃。按計(jì)劃1999年實(shí)現(xiàn)制作設(shè)備商品化。

　　另外，羅徹斯特大學(xué)光學(xué)制作中心還開始了有關(guān)制造非軸對(duì)稱和共形光學(xué)元件方法的研究，預(yù)將Opticam技術(shù)延伸到非徑向?qū)ΨQ元件的成形加工領(lǐng)域。