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日本開發出采用激光CVD法的氧化鋁涂層低溫高速成膜新技術

日本東北大學金屬材料研究所和產業技術綜合研究所通過激光CVD(化學氣相沉積)法使原料等離子化,開發出了在較原來約低400℃的溫度下對氧化鋁(Al2O3)單晶涂層進行成膜...

日期 2010-10-27   
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