摘要:本發明公開了一種碳化硅納米紙傳感器,該傳感器為電阻型傳感器,其包括基材、碳化硅納米紙和兩個導電電極,基材表面覆蓋有碳化硅納米紙,導電電極與碳化硅納米紙緊密結合在基材表面,導電電極之間的間隙連續鋪覆有碳化硅納米紙;其制備方法包括:將碳化硅納米線置于一基材上,利用有機溶劑輔助壓縮法將碳化硅納米線壓縮為碳化硅納米紙,再將基材置于真空環境中,利用真空濺射法通過掩膜在基材上沉積導電電極即得到傳感器。本發明的傳感器可通過導線接入一閉合電路中形成一濕度計,以測量環境相對濕度,具有耐高溫、抗氧化、抗腐蝕、高靈敏度、且多選擇性等優點。
申請人: 中國人民解放軍國防科學技術大學
地址: 410073 湖南省長沙市德雅路109號中國人民解放軍國防科學技術大學理學院
發明(設計)人: 李公義 馬軍 李義和 胡天嬌 彭剛 李效東
主分類號: G01N27/04(2006.01)I
分類號: G01N27/04(2006.01)I