專利號(hào):CN102140627A
申請(qǐng)人:上海交通大學(xué) 上海交友鉆石涂層有限公司
一種金剛石涂層技術(shù)領(lǐng)域的特大孔徑內(nèi)孔金剛石平坦化涂層的制備方法,采用熱絲化學(xué)氣相沉積法在拉拔模的內(nèi)孔表面依次進(jìn)行直流正向偏流沉積、直流反向偏流沉積、直流還原沉積和優(yōu)化沉積處理,得到特大孔徑內(nèi)徑金剛石平坦化涂層。本發(fā)明用三相整流的直流電源來(lái)替代單相交流電源,從而解決了大功率供電的三相平衡問(wèn)題,同時(shí)既能保證金剛石涂層的質(zhì)量,又能提高涂層的表面平整度,減少涂層拋光工作量,提高涂層模具的合格率和可靠性。